[发明专利]一种垂直光滑的反射型微镜的制作方法无效
| 申请号： | 03116501.X | 申请日： | 2003-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN1448737A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王文辉;唐衍哲;杨艺榕;吴亚明;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;H04B10/12 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 光滑 反射 型微镜 制作方法 | ||
【权利要求书】：
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