[发明专利]铟锡氧化物靶材的制备方法无效
| 申请号： | 03118371.9 | 申请日： | 2003-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN1453392A | 公开（公告）日： | 2003-11-05 |
| 发明（设计）人： | 龚鸣明;刘朗明;肖卫军;彭小苏 | 申请（专利权）人： | 株洲冶炼集团有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C04B35/457;C04B35/622 |
| 代理公司： | 株洲市长江专利事务所 | 代理人： | 刘国鼎 |
| 地址： | 412004*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化物 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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