[发明专利]成膜设备和喷头清洁方法以及设备制造系统及设备有效
| 申请号： | 03120175.X | 申请日： | 2003-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN1445028A | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | 中村真一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05B15/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王玮 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 设备 喷头 清洁 方法 以及 制造 系统 | ||
【权利要求书】：
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