[发明专利]接地电缆及使用该接地电缆的半导体制造设备无效
| 申请号： | 03121192.5 | 申请日： | 2003-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1447346A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 权奇清 | 申请（专利权）人： | 周星工程股份有限公司 |
| 主分类号： | H01B7/00 | 分类号： | H01B7/00;H01B3/44;H01L21/205;H01L21/3065;H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊,程伟 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 接地 电缆 使用 半导体 制造 设备 | ||
【说明书】：
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