[发明专利]正型化学放大型光阻组成物无效
| 申请号： | 03121330.8 | 申请日： | 2003-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN1448793A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 难波克彦;中西润次;上谷保则 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 大型 组成 | ||
【说明书】：
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