[发明专利]基板传送机台及其检测装置有效
申请号: | 03123242.6 | 申请日: | 2003-04-24 |
公开(公告)号: | CN1540408A | 公开(公告)日: | 2004-10-27 |
发明(设计)人: | 林威呈;古国仕;叶启聪;薛裕耀 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;G01N21/89 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 何秀明;李晓舒 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传送 机台 及其 检测 装置 | ||
【权利要求书】:
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