[发明专利]有机薄膜形成设备用加热坩埚有效
| 申请号： | 03125515.9 | 申请日： | 2003-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1495284A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 崔然洙;宋玉根;金炯民;氏原孝志;胁本健夫;桥本尚文 | 申请（专利权）人： | 三星日本电气移动显示株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/12;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 黄力行 |
| 地址： | 韩国蔚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 薄膜 形成 备用 加热 坩埚 | ||
【说明书】：
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