[发明专利]基于硅微机械技术的N×N光开关有效
申请号: | 03128991.6 | 申请日: | 2003-05-30 |
公开(公告)号: | CN1456908A | 公开(公告)日: | 2003-11-19 |
发明(设计)人: | 吴亚明;屈红昌 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G02B6/26 | 分类号: | G02B6/26;G02B6/35;G02B6/28 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 微机 技术 开关 | ||
【权利要求书】:
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所,未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/03128991.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种ZnO非线性电阻的制备方法
- 下一篇:耐低温涂料及其制备方法