[发明专利]大口径光学元件损伤在线检测装置无效
| 申请号： | 03129347.6 | 申请日： | 2003-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN1475796A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 任冰强;黄惠杰;张维新;赵永凯;刘丹;韩广礼;杜龙龙;王树森;路敦武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/47 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 口径 光学 元件 损伤 在线 检测 装置 | ||
【说明书】：
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