[发明专利]防止物镜于聚焦过程刮伤盘片的方法与装置无效
申请号: | 03131343.4 | 申请日: | 2003-05-13 |
公开(公告)号: | CN1549254A | 公开(公告)日: | 2004-11-24 |
发明(设计)人: | 徐正煜;符湘益;李敦介;陈福祥;蔡耀州 | 申请(专利权)人: | 建兴电子科技股份有限公司 |
主分类号: | G11B7/09 | 分类号: | G11B7/09;G11B7/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 马娅佳 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防止 物镜 聚焦 过程 盘片 方法 装置 | ||
【说明书】:
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