[发明专利]静电驱动式微机械可变电感器无效
| 申请号： | 03131650.6 | 申请日： | 2003-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1461018A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;郑惟彬;廖小平;孙莹 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01F21/00 | 分类号： | H01F21/00;H02N1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王之梓 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 式微 机械 可变 电感器 | ||
【权利要求书】：
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