[发明专利]平板单晶硅表面的改性方法无效
申请号: | 03132132.1 | 申请日: | 2003-06-30 |
公开(公告)号: | CN1472371A | 公开(公告)日: | 2004-02-04 |
发明(设计)人: | 蒋锡群;陈志军;蔡捷;史伟;杨昌正 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
主分类号: | C30B33/00 | 分类号: | C30B33/00 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 | 代理人: | 黄嘉栋 |
地址: | 210093*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平板 单晶硅 表面 改性 方法 | ||
【说明书】:
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