[发明专利]感应耦合天线以及使用该天线的等离子体处理装置无效
| 申请号： | 03132667.6 | 申请日： | 2003-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1516536A | 公开（公告）日： | 2004-07-28 |
| 发明（设计）人： | 金泰完;尤利·N·托尔马契夫;马东俊 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李瑞海;王景刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感应 耦合 天线 以及 使用 等离子体 处理 装置 | ||
【说明书】：
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