[发明专利]高温衬底传送机械手无效
| 申请号： | 03133101.7 | 申请日： | 2003-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN1504306A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 克里斯·H·潘斯兹;杰弗瑞·C·哈得根斯;戴蒙·K·库克斯;迈克·瑞斯;杰米斯·R·丘里克 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/08 | 分类号： | B25J15/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高温 衬底 传送 机械手 | ||
【权利要求书】：
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