[发明专利]具抗反射涂层的内连线制造方法及其结构有效
| 申请号： | 03133239.0 | 申请日： | 2003-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN1481020A | 公开（公告）日： | 2004-03-10 |
| 发明（设计）人： | 钟维民 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/52 | 分类号： | H01L23/52;H01L21/768 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑特强 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 涂层 连线 制造 方法 及其 结构 | ||
【权利要求书】：
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