[发明专利]固态压阻式耐高温压力传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 03134447.X | 申请日： | 2003-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1514219A | 公开（公告）日： | 2004-07-21 |
| 发明（设计）人： | 蒋庄德;赵立波;赵玉龙;王立襄 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;H01L49/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张军 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固态 压阻式 耐高温 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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