[发明专利]气态束源炉瞬态开关控制真空装置无效
| 申请号： | 03136238.9 | 申请日： | 2003-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN1548576A | 公开（公告）日： | 2004-11-24 |
| 发明（设计）人： | 牛智川;倪海桥;徐晓华;徐应强;张纬;韩勤;吴荣汉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气态 束源炉 瞬态 开关 控制 真空 装置 | ||
【权利要求书】：
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