[发明专利]具有自行对准轻掺杂汲极结构的薄膜晶体管及其制造方法有效
| 申请号： | 03137980.X | 申请日： | 2003-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN1553516A | 公开（公告）日： | 2004-12-08 |
| 发明（设计）人： | 张世昌;方俊雄;邓德华;蔡耀铭 | 申请（专利权）人： | 统宝光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王一斌 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 自行 对准 掺杂 结构 薄膜晶体管 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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