[发明专利]复合气相沉积材料和由其制成的复合沉积薄膜无效
| 申请号： | 03140685.8 | 申请日： | 2003-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1467540A | 公开（公告）日： | 2004-01-14 |
| 发明（设计）人： | 古市真治 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1333;H04N5/64;G09F9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合 沉积 材料 制成 薄膜 | ||
【权利要求书】：
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