[发明专利]生产装置及用此生产装置生产发光器件的方法有效
| 申请号： | 03147197.8 | 申请日： | 2003-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN1486793A | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | 山崎舜平;浜田崇;濑尾哲史 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05D1/02;B05D3/00;B41J2/01;H01L31/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明;梁永 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生产 装置 发光 器件 方法 | ||
【权利要求书】：
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