[发明专利]一种光刻胶涂敷装置有效
| 申请号： | 03147269.9 | 申请日： | 2003-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN1570766A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 陈望生;曾增魁 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李宗明;杨梧 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶涂敷 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司，未经友达光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/03147269.9/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：自驱动铰接式运输机系统
- 下一篇：可扩展图文符号系统及其实现方法
