[发明专利]用于化学汽相淀积工艺的原材料供给装置无效
| 申请号： | 03147802.6 | 申请日： | 2003-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN1482083A | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 姜求永 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C03B37/012 | 分类号： | C03B37/012;C03B37/018;C23C16/448;G02B6/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 化学 汽相淀积 工艺 原材料 供给 装置 | ||
【权利要求书】：
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