[发明专利]半导体装置及其制造方法有效
| 申请号： | 03147846.8 | 申请日： | 2003-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN1479382A | 公开（公告）日： | 2004-03-03 |
| 发明（设计）人： | 菊地修一;上原正文;西部荣次;安斋胜义 | 申请（专利权）人： | 三洋电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L27/04;H01L21/336;H01L21/82 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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