[发明专利]绝缘硅芯片的鳍状元件及其形成方法有效
| 申请号： | 03149259.2 | 申请日： | 2003-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN1567593A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 杨国男;詹宜陵;陈豪育;邓凌思;杨富量 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/74 | 分类号： | H01L29/74;H01L21/328;H01L27/10;H01L27/11;H01L21/822 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑特强 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 绝缘 芯片 状元 及其 形成 方法 | ||
【说明书】：
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