[发明专利]铜电镀薄膜方法有效
| 申请号： | 03150640.2 | 申请日： | 2003-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN1590597A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 张开军;职春星;徐根保 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;H01L21/288;H01L21/445 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电镀 薄膜 方法 | ||
【说明书】：
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