[发明专利]阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置无效
| 申请号： | 03153502.X | 申请日： | 2001-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN1495538A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 徐端颐;齐国生;钱坤;李庆祥;范晓冬;蒋培军 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/00;H01L21/027;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华专利事务所 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阵列 探针 扫描 集成电路 光刻 系统 中的 对准 方法 及其 装置 | ||
【说明书】：
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