[发明专利]改善阻隔壁的厚度均匀性的方法无效
申请号: | 03154821.0 | 申请日: | 2003-08-20 |
公开(公告)号: | CN1585066A | 公开(公告)日: | 2005-02-23 |
发明(设计)人: | 郭志彻;萧棋煌;李协恒;陈耀宗;郑奎文 | 申请(专利权)人: | 东元奈米应材股份有限公司 |
主分类号: | H01J9/02 | 分类号: | H01J9/02;H01J9/24 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 潘培坤;楼仙英 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 改善 阻隔 厚度 均匀 方法 | ||
【说明书】:
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