[发明专利]基底固定件以及器件制造方法无效
| 申请号： | 03155517.9 | 申请日： | 2003-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN1487365A | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | J·W·M·克里克哈尔;H·J·M·范贝斯特维尔德特;A·W·E·明奈尔特;M·A·J·托伊文;J·洛夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03B27/54;H01L21/68;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基底 固定 以及 器件 制造 方法 | ||
【说明书】：
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