[发明专利]改进的加热压力传感器总成无效
| 申请号： | 03158779.8 | 申请日： | 1997-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1515886A | 公开（公告）日： | 2004-07-28 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·C·潘多夫;阿奇博尔德·J·德蒙;弗兰克·W·托马斯;史蒂文·D·布兰肯希普 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01L7/00 | 分类号： | G01L7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进 加热 压力传感器 总成 | ||
【说明书】：
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