[实用新型]视线外磁过滤金属蒸气真空弧等离子体沉积源无效
| 申请号： | 03200996.8 | 申请日： | 2003-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN2594277Y | 公开（公告）日： | 2003-12-24 |
| 发明（设计）人： | 吴先映;李强;张荟星;张胜基;张孝吉 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 视线 过滤 金属 蒸气 真空 等离子体 沉积 | ||
【说明书】：
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