[实用新型]真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板无效
| 申请号： | 03210900.8 | 申请日： | 2003-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN2592656Y | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 宋航;李志明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 系统 真空 观察窗 转动 档板 | ||
【说明书】：
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