[实用新型]硅基级联式MEMS移相器无效
申请号: | 03255246.7 | 申请日: | 2003-07-04 |
公开(公告)号: | CN2657214Y | 公开(公告)日: | 2004-11-17 |
发明(设计)人: | 石艳玲;李炜;卿健;赖宗声;朱自强;忻佩胜 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学 |
主分类号: | H01Q3/30 | 分类号: | H01Q3/30;H01Q3/36 |
代理公司: | 上海德昭专利事务所 | 代理人: | 程宗德 |
地址: | 200062*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 级联 mems 移相器 | ||
【权利要求书】:
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