[实用新型]真空镀膜的线状掩膜具无效
| 申请号： | 03255517.2 | 申请日： | 2003-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN2627008Y | 公开（公告）日： | 2004-07-21 |
| 发明（设计）人： | 钟国柱;张志林 | 申请（专利权）人： | 上海航天上大欧德科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 上海开祺专利代理有限公司 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 200072上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 线状 掩膜具 | ||
【说明书】：
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