[实用新型]用于原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置无效
| 申请号： | 03276452.9 | 申请日： | 2003-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN2641641Y | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | 费义艳;吕惠宾;朱湘东;陈正豪;周岳亮;金奎娟;程波林;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01J4/00;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 原位 实时 探测 薄膜 生长 状况 反射 装置 | ||
【说明书】：
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