[发明专利]除去钛系膜和钛氧化物的方法有效
| 申请号： | 03800210.8 | 申请日： | 2003-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN1507504A | 公开（公告）日： | 2004-06-23 |
| 发明（设计）人： | 松本圭司;松冈进;浅井裕次 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C23G1/02 | 分类号： | C23G1/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘元金;庞立志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 除去 钛系膜 氧化物 方法 | ||
【权利要求书】：
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