[发明专利]电子束曝光方法及其装置无效
| 申请号： | 03800541.7 | 申请日： | 2003-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN1522390A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 久继德重 | 申请（专利权）人： | PD服务株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 日本东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 曝光 方法 及其 装置 | ||
【权利要求书】：
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