[发明专利]不饱和单体、聚合物、化学增幅抗蚀剂组合物、和形成图案的方法无效
| 申请号： | 03801743.1 | 申请日： | 2003-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1692130A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 前田胜美;中野嘉一郎 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | C08F20/28 | 分类号： | C08F20/28;C08F32/08;C08G61/12;C07D307/93;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;杨青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 不饱和 单体 聚合物 化学 增幅 抗蚀剂 组合 形成 图案 方法 | ||
【权利要求书】：
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