[发明专利]一种用于制造由单晶半导体材料制成的无支撑衬底的方法有效
申请号: | 03804278.9 | 申请日: | 2003-01-21 |
公开(公告)号: | CN1636087A | 公开(公告)日: | 2005-07-06 |
发明(设计)人: | B·吉斯兰;F·勒泰特;C·马聚尔 | 申请(专利权)人: | S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司 |
主分类号: | C30B29/40 | 分类号: | C30B29/40;C23C16/27;H01L21/20 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 制造 半导体材料 制成 支撑 衬底 方法 | ||
【权利要求书】:
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