[发明专利]圆盘状元件保持装置无效
| 申请号： | 03805434.5 | 申请日： | 2003-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1639382A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 越川政人;石崎秀树;江本淳 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;H01L21/68;G11B7/26 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆盘 状元 保持 装置 | ||
【说明书】：
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