[发明专利]清洁光学表面的方法和装置无效
| 申请号： | 03805657.7 | 申请日： | 2003-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN1638883A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | J·吕德克;C·查策克;A·帕茨迪斯;J·乌尔曼;A·米尔普福尔德特;M·蒂尔;S·维斯纳 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘维升;马崇德 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洁 光学 表面 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT股份公司，未经卡尔蔡司SMT股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/03805657.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制备热固性组合物用增韧剂的方法
- 下一篇：压电膜元件及其制造方法和液体吐出头
