[发明专利]掺杂型III-V族氮化物材料及由这种材料构成的微电子器件和器件前体结构有效
申请号: | 03807131.2 | 申请日: | 2003-03-19 |
公开(公告)号: | CN1643696A | 公开(公告)日: | 2005-07-20 |
发明(设计)人: | 杰斯里斯·S·弗林;乔治·R·布兰德斯 | 申请(专利权)人: | 克利公司 |
主分类号: | H01L29/205 | 分类号: | H01L29/205;H01L29/778;H01L33/00;H01L31/0304;H01L21/36 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 杨林森;谷惠敏 |
地址: | 美国北卡*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掺杂 iii 氮化物 材料 这种 构成 微电子 器件 结构 | ||
【说明书】:
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