[发明专利]铜络合物和利用该铜络合物形成含铜薄膜的方法无效
| 申请号： | 03807420.6 | 申请日： | 2003-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1642964A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | 角田巧;长谷川千寻;绵贯耕平 | 申请（专利权）人： | 宇部兴产株式会社 |
| 主分类号： | C07F7/18 | 分类号： | C07F7/18;C23C16/18;//C07F1/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹雪梅;庞立志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 络合物 利用 形成 薄膜 方法 | ||
【说明书】：
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