[发明专利]ECR等离子体源和ECR等离子体装置有效
| 申请号： | 03807747.7 | 申请日： | 2003-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN1647593A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 松尾诚太郎;野崎俊行;田中富三男 | 申请（专利权）人： | NTTAFTY株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065;H01L21/205;C23C14/22;C23C16/511 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ecr 等离子体 装置 | ||
【说明书】：
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