[发明专利]可移动元件的多向扫描和其离子束监测设备无效
| 申请号： | 03808120.2 | 申请日： | 2003-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN1647235A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 西奥多·H·斯米奇克;逆濑卓郎;弗兰克·D·罗伯茨;杰弗里·吕丁;马文·法利;阿德里安·默雷尔;彼得·爱德华兹;伯纳德·哈里森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/317;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 移动 元件 多向 扫描 离子束 监测 设备 | ||
【权利要求书】：
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