[发明专利]MRAM制程中穿隧接合帽盖层、穿隧接合硬罩幕及穿隧接合堆栈种子层之材料组合无效
申请号: | 03808681.6 | 申请日: | 2003-04-17 |
公开(公告)号: | CN1647206A | 公开(公告)日: | 2005-07-27 |
发明(设计)人: | R·勒斯奇纳;G·斯托贾科维;X·J·宁 | 申请(专利权)人: | 因芬尼昂技术股份公司 |
主分类号: | G11C11/15 | 分类号: | G11C11/15;G11C11/16 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张雪梅;张志醒 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mram 制程中穿隧 接合 盖层 硬罩幕 堆栈 种子 材料 组合 | ||
【说明书】:
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