[发明专利]光刻术的方法,装置和计算机程序产品无效
| 申请号： | 03809147.X | 申请日： | 2003-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN1646993A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 伦纳特·奥尔森 | 申请（专利权）人： | 奥博杜卡特股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;//G11B5/84 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 方法 装置 计算机 程序 产品 | ||
【说明书】：
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