[发明专利]二次电子探测器,尤其是扫描电子显微镜中的二次电子探测器无效
| 申请号： | 03813724.0 | 申请日： | 2003-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1659679A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·卡奇亚;马丁·扎德拉日尔;菲利普·洛保尔 | 申请（专利权）人： | 泰斯坎公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦;方挺 |
| 地址： | 捷克布*** | 国省代码： | 捷克;CZ |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二次电子 探测器 尤其是 扫描 电子显微镜 中的 | ||
【权利要求书】：
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