[发明专利]用于具有结晶材料中加工的平面单片振动结构的机械共振器的生产方法以及这样生产的共振器无效
| 申请号： | 03813904.9 | 申请日： | 2003-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1662791A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | J·贝笛亚 | 申请（专利权）人： | 萨甘股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李家麟 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 具有 结晶 材料 加工 平面 单片 振动 结构 机械 共振器 生产 方法 以及 这样 | ||
【权利要求书】：
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