[发明专利]将基片传递给用于盘形基片的薄膜形成装置的方法 ,在该方法中使用的基片传递机构和基片托架 ,以及使用该方法的盘形记录媒体制造方法无效
| 申请号： | 03814362.3 | 申请日： | 2003-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN1662977A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 越川政人;渡边英昭 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 将基片 传递 用于 盘形基片 薄膜 形成 装置 方法 使用 机构 托架 以及 记录 媒体 制造 | ||
【权利要求书】：
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