[发明专利]具有光传感器的抛光垫无效
申请号: | 03814472.7 | 申请日: | 2003-05-12 |
公开(公告)号: | CN1662344A | 公开(公告)日: | 2005-08-31 |
发明(设计)人: | 格雷格·巴伯 | 申请(专利权)人: | 斯特拉斯保 |
主分类号: | B24B49/00 | 分类号: | B24B49/00;B24B1/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 蔡洪贵 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有光 传感器 抛光 | ||
【权利要求书】:
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